? ? 晶圓是硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,晶圓制造是半導(dǎo)體集成電路的重要制程,由晶圓進(jìn)一步制造的半導(dǎo)體集成電路芯片是廣泛應(yīng)用于各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)的重要核心元器件。《半導(dǎo)體集成電路制造業(yè) 晶圓 綠色工廠評價要求》(T/CESA
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